??產品介紹：
BROOKS AUTOMATION 001-4130-03晶圓矯正控制器。
其主要目的是通過高精度的定位和校準技術來確保晶圓的位置及方向準確
從而為后續(xù)工藝提供基礎
產品應用：
廣泛應用于半導體制造過程的各個階段，包括晶圓加工、傳輸、檢測等。
可集成至各類半導體設備中使用，如晶圓傳片設備、晶圓研磨機等。
產品特性：
高精度校準：采用微型單軸機器人模組或高精度圖像識別傳感器等技術，實現(xiàn)高速、高精度的晶圓校準。例如，某些型號的晶圓校準器能在3秒內定位晶圓中心，位置精度達到±0.1mm，晶圓缺邊/缺口角度精度達到±0.1°。
高效性：能夠快速完成晶圓中心與角度等補正動作，同時達成定位。
多功能性：配備高性能光學傳感器，支持透明、半透明與不透明等物件的輪廓偵測功能，適用于不同尺寸（如100-300mm）的晶圓及玻璃等。
高潔凈度：適用于半導體、光電等高潔凈度環(huán)境，潔凈等級達ISO標準Class 1或Class 2。
實時監(jiān)控與安全性：配備即時監(jiān)控功能，可實時檢測馬達驅控系統(tǒng)、感測系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、循環(huán)系統(tǒng)等系統(tǒng)狀態(tài)，并提供緊急停止功能以確保使用安全。
001-4130-03
產品組成：
通常由潔凈大氣機械手、晶圓載物臺、晶圓對準器、視覺系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、空氣過濾器等組成一個高潔凈度的運行空間。
產品優(yōu)勢：
立自主知識產權的直線型單臂機械手，具有高可靠性、高穩(wěn)定性。
設備配有FFU，采用全封閉結構，可發(fā)揮超潔凈性能。
可實現(xiàn)對晶圓缺口的檢測并依據(jù)缺口位置對晶圓進行定位。
配備CCD傳感器及圖像處理軟件，可對晶圓ID刻號進行識別與讀取。
??英語介紹:
BROOKS AUTOMATION 001-4130-03 Wafer alignment controller.
Its main purpose is to ensure the accurate position and orientation of the wafer through high-precision positioning and calibration technology
Thus provide the basis for the subsequent process
Product Application:
It is widely used in all stages of semiconductor manufacturing process, including wafer processing, transmission, inspection, etc.
It can be integrated into various semiconductor devices, such as wafer transfer equipment, wafer grinding machines, etc.
Product features:
High-precision calibration: The use of micro-single-axis robot modules or high-precision image recognition sensors and other technologies to achieve high-speed, high-precision wafer calibration. For example, some models of wafer calibrators can locate the wafer center within 3 seconds with a position accuracy of ±0.1mm and wafer edge/notch Angle accuracy of ±0.1°.
High efficiency: Can quickly complete the wafer center and Angle and other corrective actions, while achieving positioning.
Versatility: Equipped with high-performance optical sensors to support contour detection of transparent, translucent and opaque objects, suitable for wafers and glass of different sizes (such as 100-300mm).
High cleanliness: Suitable for semiconductor, photoelectric and other high cleanliness environment, cleanliness level up to ISO standard Class 1 or Class 2.
Real-time monitoring and safety: Equipped with real-time monitoring function, can detect the motor drive control system, sensing system, vacuum system, circulation system and other system status in real time, and provide emergency stop function to ensure safety.
001-4130-03
Product composition:
It is usually composed of a clean air manipulator, wafer carrier, wafer aligner, vision system, control system, air filter, etc., to form a high cleanliness operating space.
Product advantages:
The linear single-arm manipulator with independent intellectual property rights has high reliability and stability.
The equipment is equipped with FFU and adopts a fully enclosed structure for ultra-clean performance.
Wafer notch detection and wafer positioning based on the notch location can be achieved.
Equipped with CCD sensor and image processing software, it can recognize and read the wafer ID marking.
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